鎢銅薄板燒結法

鎢銅合金是一種由體心立方結構的鎢顆粒和麵心立方結構的銅粘結相組成,兩者既不互相固溶也不形成金屬間化合物,屬於複合材料。鎢銅合金通常被稱為偽合金或假合金,它既具有鎢的高強度、高硬度、低膨脹係數等特性,同時又具有銅的高塑性、良好的導電和導熱性等特性,因此,在大型積體電路和大功率微波器件中鎢銅合金材料作為基片、嵌塊、連接件和散熱元件得到迅速發展。鎢銅合金的高導熱及耐熱性大大提高了微電子器件的使用功率,使器件小型化;並且適宜的熱膨脹係數可以與微電子器件中矽片、砷化稼等半導體材料及管用陶瓷材料很好匹配連結,避免熱應力所引起的熱疲勞破壞;這些特有的綜合性能使鎢銅合金薄板在大型積體電路和大功率電子器件中作為電子封裝和熱沉積材料得到廣泛的應用。

現有的鎢銅薄板燒結方法包括以下幾種:

1、超細/納米化合金粉末的直接燒結法;該方法利用機械合金化、溶膠一凝膠
法、機械一熱化學工藝合成法制得超細鎢銅混合粉,之後成形,在1200℃一1350℃燒結,即可直接製成各種成分的鎢銅高緻密度合金。
2、活化液相燒結法;該方法在鎢銅材料中加入微量(0. lwt%一0. 5wt% )Pd, Ni, Co或Fe等第三種金屬元素,促使不溶解於銅的鎢相溶解于銅相中,通過在液相燒結過程中形成含有這些金屬元素的Y相,從而降低了燒結溫度,縮短燒結時間,並且大大提高燒結緻密度。
3、熔滲法;該方法是先將鎢粉壓制成坯塊,然後在一定溫度下預燒製備成具有一定密度和強度的多孔鎢基體骨架,之後將熔點較低的金屬銅熔化滲入到鎢骨架中,從而得到緻密鎢銅合金材料。該方法的機理在於當金屬液相潤濕多孔基體時,金屬液在毛細管力作用下沿顆粒間隙流動填充多孔鎢骨架孔隙,從而獲得緻密的材料。

然而,仔細分析上述燒結技術可知,現有鎢銅合金的燒結方法均存在一系列問題:
1)對於超細/納米化合金粉末直接燒結法,製備時間長(一般)50h)、生產量小,均限制了該方法工業化生產;並且固相燒結後晶粒尺寸明顯長大,跟其他常規方法燒結後大小相似,微觀結構與其他液相燒結也相似;另外,該方法還容易引入其他雜質元素影響產品最終性能。
2)活化液相燒結法中活化劑的加入會顯著降低材料的導熱導電性能,該方法對要求高導電導熱性的微電子材料來說是不利的。
3)熔滲法在熔滲後需要進行機械加工以去除多餘的金屬銅,該方法反而增加了後序機加工費用,降低成品率,並且也不利於在形狀複雜零部件中採用。
分析上述現有技術各方法的存在以上諸多缺陷的主要原因在於鎢和銅儘管具有很好的潤濕性,但是由於兩者物理性質相差懸殊,因此在常規情況下的直接燒結,即使進行液相燒結,也不可能直接燒結得到高緻密性的產品。因此,如何採用適當的方法使在不添加活化元素的基礎上燒結出高緻密度且兩相分佈均勻的鎢銅合金,並生產效率高、避開後續加工工序,是克服現有技術缺陷的關鍵,也是製備鎢銅合金技術人員亟待解決的技術問題之一。

鎢銅薄板燒結法所要解決的技術問題是克服了現有鎢銅合金燒結技術中,超細/納米化合金粉末直接燒結法的製備時間長、生產量小、產品微觀結構並沒有極大改善且易引入雜質影響產品性能;或者活化液相燒結法中活化劑的加入會顯著降低材料的導熱導電性能,不適用於要求高導電導熱性的微電子材料;或者熔滲法需要後機械加工費用,降低成品率,也不利於在形狀複雜零部件中採用等的缺陷,提供了一種鎢銅合金薄板的燒結方法。

鎢銅薄板燒結方法案例

本發明的鎢銅合金薄板的燒結方法,其包括如下步驟:在氫氣保護氣氛中,將0. 4mm一2. Omm厚度的鎢銅合金生板坯進行連續推舟液相燒結即可;其中,所述的連續推舟液相燒結的條件中推舟速度為0. 15cm/min一0. 5cm/min;燒結溫度為1250℃一15500C;保溫時間為1一4小時。
本發明中,所述的0. 4mm一2. Omm厚度的鎢銅合金生板坯可按照本領域常規方法製備,一般為模壓或冷等靜壓等方法,也市售可得。本發明中對於0. 4二一2. Omm厚度的選擇,是發明人經過大量實驗研究發現,在此特別選擇的範圍內,將該合金生板坯用於製備鎢銅合金薄板,配合燒結方法的其他條件,非常有利於燒結時銅相的擴散和氣孔的排出,並且直接簡化燒結方法的後續加工程式。其中,所述的鎢銅合金生板坯中金屬鎢和金屬銅的含量為本領域常規鎢銅合金材料中各成分的含量,一般鎢含量為50wt%一90wt;銅含量為l0wt%~50wt%。
本發明中,所述的氫氣保護氣氛在本發明的燒結方法中,氫氣能夠還原被氧化的鎢和銅,使鎢銅兩相的比表面能增大,進一步有利於鎢銅兩相的結合。
本發明中,所述的連續推舟液相燒結為本領域常規操作,一般是將合金坯料在高溫爐中進行連續推舟液相燒結,具體至本發明,結合本發明特別優選的具體條件,連續推舟液相燒結能使鎢銅合金板坯中的銅相自前至後熔化,先熔化的銅相可以充分滲透鎢骨架,使氣孔更有利排出,進一步提高燒結產品緻密度。
其中,所述的連續推舟液相燒結的燒結溫度為1250℃一15500C,當鎢銅合金生板坯在此溫度範圍內進行高溫液相燒結時,該優選的溫度特別有利於減小鎢銅兩相的潤濕角,使鎢銅兩相分佈均勻,且提高燒結緻密度。

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